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MAG50xMPG50x大氣壓至超高真空真空計(jì)

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MAG50xMPG50x大氣壓至超高真空真空計(jì) INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空計(jì)是所有真空測(cè)量應(yīng)用（申請(qǐng)中）的動(dòng)力源泉。Gemini將兩個(gè)傳感器系統(tǒng)整合在一個(gè)小裝置中，測(cè)量范圍從大氣壓至 1x10 – 9 毫巴。獲得的超低雜散磁場(chǎng)設(shè)計(jì)為全新的應(yīng)用領(lǐng)域開(kāi)啟了大門(mén)。的可互換式雙室傳感器單元不用清洗并減少了維護(hù)，這使使Gemini成為同類(lèi)產(chǎn)品中最堅(jiān)穩(wěn)和經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)。Gemini冷陰極和組合真空計(jì)配備了集成的數(shù)字電子設(shè)備，使系統(tǒng)集成具有很強(qiáng)的靈活性。冷陰極和皮拉尼組合選項(xiàng)提供了跨越多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的無(wú)縫轉(zhuǎn)換、可靠性、實(shí)用性和靈活性。

詳細(xì)介紹

益處

在惡劣環(huán)境下，使用壽命長(zhǎng)
低雜散磁場(chǎng)
零維護(hù)- 可換插頭
超緊湊尺寸
可靠的快速點(diǎn)火
抗腐蝕饋入裝置
可選測(cè)量電流

典型應(yīng)用

基本壓力監(jiān)視和控制，在蒸發(fā)和濺射鍍膜應(yīng)用中從大氣壓到高真空。
一般真空測(cè)量 – 工業(yè)爐、建筑玻璃、半導(dǎo)體、冰箱和空調(diào)。
分析和研發(fā)應(yīng)用 – 質(zhì)譜分析、電子顯微鏡、醫(yī)療、眼科、光學(xué)和高能物理。

規(guī)格

類(lèi)型		MAG50x	MPG50x
測(cè)量系統(tǒng)		Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)	Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
測(cè)量范圍（空氣、氮?dú)猓?		1×10-9 … 1×10-2	1×10-9 … 1000
準(zhǔn)確度 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	% of reading	30	30
1×10-2 … 100 毫巴	% of reading	-	30
100 … 1000 毫巴	% of reading	-	50
可重復(fù)性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	% of reading	5	-
1×10-8 … 100 毫巴	% of reading	-	5
安裝定位		any	any
容許壓力	bar (absolute)	10 (limited to inert gases <50°C)	10 (limited to inert gases <50°C)
容許溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+5 ... +55	+5 ... +55
法蘭烘烤 (1)	°C	<150	<150
儲(chǔ)存	°C	-40 ... +70	-40 ... +70
燈絲溫度	°C	-	120
一年 30 天的相對(duì)濕度
1×10-7 … 1×10-2 毫巴	%	<95 (non-condensing)	<95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴	%	<70 (non-condensing)	<70 (non-condensing)
供電電壓
在量規(guī) (2)	V (dc)	+14.5 ... +30	+14.5 ... +30
波紋	V (p-p)	<1	<1
功耗	W	<2	<2
待連接的保險(xiǎn)絲	AT	<1	<1
電壓范圍
模擬輸出	V	0 ... +10.5	0 ... +10.5
測(cè)量范圍
3MAx-00x-0x0N	V	+1.5 ... +8.5	-
3MBx-00x-0x0P	V	-	+1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q	V	+0.667 ... +10	-
電壓比壓力
3MAx-00x-0x0N	volts per decade	1 (logarithmic)