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橢圓計(jì) （膜厚測(cè)定多層膜解析光弾性測(cè)定）　M-series

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沈陽(yáng)佳士科商貿(mào)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

橢圓率計(jì)（測(cè)量膜厚多層膜解析測(cè)量光彈性）　M-series▼概要日日本分光制的橢圓計(jì)配有日本分光產(chǎn)的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式，實(shí)現(xiàn)高速性和高安定性

詳細(xì)介紹

橢圓率計(jì) （測(cè)量膜厚 多層膜解析 測(cè)量光彈性）　M-series

▼概要
日日本分光制的橢圓計(jì)配有日本分光產(chǎn)的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式，實(shí)現(xiàn)高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測(cè)量，所以主要用于向高集積化和高精細(xì)化發(fā)展的半導(dǎo)體及高機(jī)能光學(xué)薄膜等材料的評(píng)價(jià)。
◆規(guī)格
▼M-210/220/230/240/550/ELC-300

型號(hào)	M-210	M-220	M-230	M-240	M-550	ELC-300
測(cè)量方法	PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式
分光器	-	雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置		雙單色器（260～900nm）單單色器（900～1700nm）自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置	單單色器自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置	雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置
測(cè)量波長(zhǎng)	He-Ne激光 (632.8nm)	He-Ne激光(632.8nm) Xe光源 (260～860nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm) 鹵素?zé)?br /> (900～1700nm)	Xe光源 (350～800nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)
入射角范圍	40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）				45゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）	40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）
膜厚測(cè)量范圍	0～99999?
測(cè)量時(shí)間	1msec以上					20μsec～16sec
測(cè)量準(zhǔn)確度^*	屈折率　±0.01
	膜厚　±1?
	消衰係數(shù)　±0.01
	*準(zhǔn)確度是指測(cè)量時(shí)間100msec以上。另外、根據(jù)表面狀態(tài)、膜質(zhì)不同準(zhǔn)確度也不同。
樣品室	樣品垂直放				樣品水平放	樣品垂直放
檢測(cè)器	檢光子（Glan-Taylor棱鏡）紫外可見(jiàn)區(qū)域：光電子倍増管　近紅外區(qū)域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240）

▼軟件

主機(jī)標(biāo)準(zhǔn)

1.時(shí)間變化測(cè)量
2.膜厚測(cè)量
3.Δ-Ψ模擬
4.光譜測(cè)量?解析^*1
5.誘電率計(jì)算^*1
6.反射率計(jì)算^*1
*1 M-210型號(hào)不是分光型不可使用

選項(xiàng)程序

1. 映射測(cè)量（自動(dòng)X-θ帶映射臺(tái)）
2.多層膜解析^*2
3.多入射角測(cè)量
4.靈敏度模擬^*2
5.波長(zhǎng)Cauchy光譜^*3
6.橢圓率測(cè)量?解析、測(cè)量波長(zhǎng)固定復(fù)屈折（帶異方性解析臺(tái)）^*3
7.測(cè)量3次元屈折率（需要異方性解析臺(tái)）^*3
8.測(cè)量光弾性定數(shù)（帶光弾性測(cè)量用透過(guò)臺(tái)）^*3
*2 M-210不是分光型的不能使用
*3 M-550不能測(cè)量透過(guò)不能使用。

◆規(guī)格
▼M-210/220/230/240/550/ELC-300

型號(hào)	M-210	M-220	M-230	M-240	M-550	ELC-300
測(cè)量方法	PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式
分光器	-	雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置		雙單色器（260～900nm）單單色器（900～1700nm）自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置	單單色器自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置	雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng) 驅(qū)動(dòng)裝置
測(cè)量波長(zhǎng)	He-Ne激光 (632.8nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm) 鹵素?zé)?br /> (900～1700nm)	Xe光源 (350～800nm)	He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm)
入射　角范圍	40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）				45゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）	40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔）
膜厚測(cè)量范圍	0～99999?
測(cè)量時(shí)間	1msec以上					20μsec～16sec
測(cè)量準(zhǔn)確度^*	屈折率　±0.01
	膜厚　±1?
	消衰係數(shù)　±0.01
	準(zhǔn)確度是指測(cè)量時(shí)間100msec以上。另外、根據(jù)表面狀態(tài)、膜質(zhì)不同準(zhǔn)確度也不同。*
樣品室	樣品垂直放				樣品水平放	樣品垂直放
檢測(cè)器	檢光子（Glan-Taylor棱鏡）紫外可見(jiàn)區(qū)域：光電子倍増管　近紅外區(qū)域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240）